扫描探针可以非常快速地捕捉棱柱形或复杂工件的形状和轮廓。虽然“切换测量”只测量单个点，而扫描则记录大量数据，从而获得更精确的特征或工件形状信息。因此，扫描适用于重现复杂自由形几何或形状精度或复杂表面必须在一定公差范围内的场景。
扫描需要在传感器设计、坐标机控制和数据分析上采取根本不同的方法。扫描探针的创新设计（无电机、无夹紧机构）提供了卓越的动态行为，从而实现了即使在高速下也能获得最佳的扫描性能。独立的光学数据采集提供探针插入件偏转的独立检测，以提高精度。
SP25M紧凑型扫描探针（直径仅25毫米），配备扫描和接触开关模块
SP600在检查、数字化和扫描配置文件方面实现最高精度
SP80针式探针用于扫描，即使使用长笔芯，测量性能也极佳
